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プラズマクリーナー

(株)マツボー

真空チャンバーと試料を同時にクリーニング

本製品は、電子顕微鏡や真空チャンバーの試料観察にて、コンタミを確実に除去することが可能なプラズマクリーナー。0.1mTorrの低圧でプラズマに点火、プラズマの発光をモニタリング、自動でRFインピーダンスをマッチング、自動でガス流量を制御可能といった特長を持つ。

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プラズマクリーナー

仕様

用途 電子顕微鏡 SEM、FIB、TEM、EBL、CD-SEM、EBR、EUVL、ALDや高圧チャンバー
利用されている業界 半導体、液晶、自動車、光学機器

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会社情報

(株)マツボー

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〒1050001
東京都 港区虎ノ門3-8-21 33森ビル
電話: 0354721727
http://www.matsubo.co.jp