サブ・ナノメートルの位置決め性能を実現

【QNP3シリーズ】は、独自のパラレル・キネマティック機構にて優れた幾何学的性能を発揮するXYZピエゾ位置決めステージ。静電容量センサによる直接計測で、サブ・ナノメートルの分解能と線形性を達成。40×40mmの開口部を設け、閉ループ制御での最大ストローク：100×100×10μm(開ループ制御では120×120×12μm)を実現。光学顕微鏡や走査型プローブ顕微鏡などの検査アプリケーション、3自由度の操作で部品に両側からアクセスする必要がある製造アプリケーションに最適。