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ワイヤレスウエハ温度計測システム ES-317/ES-209/QET-600

(株)SEBACS

信頼性の高い測定システムを実現

【ES-317/ES-209/QET-600】は、水晶温度センサの応用により、プローブウエハ上から電源や発熱部品を追放した無電源ワイヤレスウエハ温度計測システム。ワイヤレスでありながら信頼性の高い測定システムを実現。測定温度範囲:0〜200℃、絶対精度:±0.1℃、温度分解能:0.01℃(10m℃)、本体寸法:260×230×66mm。

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会社情報

(株)SEBACS

(株)SEBACS
〒6150864
京都府 京都市右京区西京極新明町13-1
電話: 0753232080
http://www.sebacs.co.jp
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