PR
⇒⇒⇒セキュアなワイヤレスIoTをお求めですか?

液体流量センサ SLQ-QT500

センシリオン(株)

半導体および一般生産装置向け、最大流量120ml/minまで測定可能

【SLQ-QT500】は、水系および炭化水素系において3〜120ml/minの広範囲にわたって液体流量の測定が可能なセンサ。測定原理には同社の実績ある熱式マイクロセンサ技術を用いており、媒体に対して非接触でありながら高感度かつ応答速度が速い測定を可能にしている。また可動部分のない構造で、繰り返し測定精度が高いことから、長期的に信頼性の高い測定が行える。これらの特長により、生産装置で要求される気泡検出も精度よく実施可能。接液部はPFAと石英ガラス管のみで構成され、パーティクル対応も実施し、高粘度の液体測定にも対応し、半導体生産装置に使用可能なことはもちろんのこと、ほかの一般産業機器向けにも優れた性能を発揮する。通信手段は長距離バス通信を可能とするRS485方式。流体の瞬時流量と同時に自動検出による積算量の出力も可能。卓越した感度と測定速度により投薬モニタ、制御アプリケーションに最適である。

この製品が気になった方はこちら
製品カタログ
お問い合わせ
液体流量センサ SLQ-QT500

その他の情報

- 最大流量120ml/min (炭化水素と水系)
- 30ms以下の応答速度
- 低、高粘度液体に対応
- 小パーティクル対応
- RS485 デジタルインターフェース
- 直線流体経路、可動部品無し
- 高純度保証
- 最低流量まで高感度な測定が可能
- 耐薬品性、不活性材質採用
- 接液材料:PFA、石英ガラスのみ
- 最大動作圧:10気圧

関連製品カタログ

液体流量センサー 総合カタログ

流量スイッチ FS-600シリーズ カタログ
静電容量式電磁流量モニタ エフモ(FMO)
水用流量計 B-F 仕様書
マイクロウェーブ式フローセンサ KFD-1
質量流量計 クリーンフロー
食品・飲料製造ソリューションのための安心・安全な選択
液体用フローセンサ 熱量測定式 インサート型 FCS/インライン型 FCI セレクションガイド

会社情報

センシリオン(株)

センシリオン(株)
〒1080074
東京都 港区高輪3-25-22 高輪カネオビル4F
電話: 0334444940
http://www.sensirion.co.jp