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ポリイミド静電チャック

(株)巴川製紙所

高絶縁性接着剤により安定した吸着性能を発揮

真空環境での安定した吸着力を発揮することができる静電チャック。クーロン力によってシリコウエハー、ガラス、金属などを静電吸着する。静電吸着用電極シート(表面ポリイミドフィルム)の作成から高絶縁性接着剤を用いた金属基盤への高精度貼合せ加工まで、一貫した生産体制で提供され、電極シートは、銅箔をポリイミドフィルムと高絶縁性接着剤で構成されているため、仕様の変更に柔軟に対応することが可能。材料支給により、アルミナなどのセラミック板と金属基盤の貼り合せにも対応可能である。

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会社情報

(株)巴川製紙所

(株)巴川製紙所
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電話: 0335617125
http://www.tomoegawa.co.jp