従来品に比べ40％以上のコスト削減が可能な脱気モジュール

低価格なMF脱気膜モジュールは、耐薬品性に優れクリーン度の高いフッ素樹脂を接液部に使用。薬液・溶剤中の泡や溶存ガスを効率的に除去できるため、製品の品質安定や歩留まり向上など様々な効果が期待できる。
(1）半導体製造分野で薬液中のマイクロバブルを除去し歩留まりを向上
(2)FPD分野での塗布工程において気泡の問題を解決
(3)微粒子測定機器でサンプル中のマイクロバブルを除去し誤カウントを防止
(4)洗浄分野における洗浄能力の向上
(5)流体制御分野での流量正確さの向上