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ジャケットヒーターシステム

(株)東京興業貿易商会

専用の温調・モニタシステムで半導体配管を最適化

本製品は、200℃の高温加熱が可能なクリーンルーム用途に適した半導体装置用低発塵性ジャケットヒーターシステム。場所をとらないコンパクトサイズでコールドスポットがなく温度が均一、各ジャケットヒーターの温度制御とモニタリングを通信機能にて実行する仕組みで、ジャケットヒーター40個分をモニタできる。また、多重絶縁構造のアース付きフレキシブル発熱エレメントにより堅牢性・安全性に優れ、フレキシブルで着脱が容易なほか、各ジャケット毎のPID制御で温度均一性を高め異常箇所を素早く認知、温度制御線、電源供給線、モニタ費を低減する。

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会社情報

(株)東京興業貿易商会

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〒1050003
東京都 港区西新橋3-13-3 西新橋ビル3F
電話: 0334362585
http://www.tkbs-jp.com/
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