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ウエハーガード インラインガスフィルター

日本インテグリス株式会社

半導体プロセス用に設計

同社では、プロセス用ガスフィルターにニッケル/SUS316L/PTFEの3種類のメンブレンを用意しており、ガス種・使用条件に合わせてフィルター材質を選択することが可能。ガス種、流量に合わせて各種ラインアップしている。

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ウエハーガード インラインガスフィルター

関連製品カタログ

焼結ベント(ガス抜き)

本製品は、多数の平行な直線状の孔を有した焼結品で、材質は鉄合金とステンレスの2種類を用意。ショットサイクルを短縮でき、生産性の大幅な向上が図れる。圧入して使用。

液ダレ防止弁 SV series
ステンレスタンク TN series(狭口ボトムポート型)
ステンレスタンク TA series(内容器式)
ニードルアダプタ UNA series
ステンレスタンク TMC series(軽量普及型下取出)
【技術仕様書】測温抵抗体および熱電対用ユニバーサルヘッド温度伝送器 iTEMP TMT80
プロセスコントローラ BC100

会社情報

日本インテグリス株式会社

日本インテグリス株式会社
〒1080073
東京都 港区三田1-4-28 三田国際ビルヂング
電話: 0354429718
http://www.entegris.com/nihon/
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