ウエハーガード インラインガスフィルター
半導体プロセス用に設計
同社では、プロセス用ガスフィルターにニッケル／SUS316L／PTFEの3種類のメンブレンを用意しており、ガス種・使用条件に合わせてフィルター材質を選択することが可能。ガス種、流量に合わせて各種ラインアップしている。
関連製品カタログ
OUA260流通ホルダと組み合わされたUV吸光度測定用光学センサ。
会社情報
- 日本インテグリス株式会社
- 〒1080073
- 東京都 港区三田1-4-28 三田国際ビルヂング
- 電話: 0354429718
- http://www.entegris.com/nihon/