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ウエハーガード インラインガスフィルター

日本インテグリス株式会社

半導体プロセス用に設計

同社では、プロセス用ガスフィルターにニッケル/SUS316L/PTFEの3種類のメンブレンを用意しており、ガス種・使用条件に合わせてフィルター材質を選択することが可能。ガス種、流量に合わせて各種ラインアップしている。

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ウエハーガード インラインガスフィルター

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会社情報

日本インテグリス株式会社

日本インテグリス株式会社
〒1080073
東京都 港区三田1-4-28 三田国際ビルヂング
電話: 0354429718
http://www.entegris.com/nihon/
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