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自動ドア対応300mmウェーハ出荷容器(FOSB) SB300

日本インテグリス株式会社

300mmウェーハの高度な保護と最適な自動化インターフェース

【SB300】は、ウェーハ搬送時に高度なウェーハ保護を提供するために設計および製造されたウェーハ出荷容器(FOSB)。超高純度のポリカーボネート製ハウジングは、寸法安定性が高く、パーティクルおよびアウトガスの発生を低く抑え、また、ガスケットによる密閉とフィルター内蔵により、外部からのパーティクル汚染を防止する。さらに、ドア内部には特殊な形状のクッションが加工されており、ウェーハの回転を最小限に抑えるほか、成型加工されたウェーハ接触面は、寸法精度が高くパーティクルの発生を防止している。このほか、FIMS対応(SEMI E62準拠)、低トルク開閉ドアをはじめ、10mmフルピッチ、高精度ウェーハ接触水平面、高剛性ロボットフランジ、コンベア用レール、キネマティックカップリングといった様々な機能を採用により、信頼性の高い自動化インターフェースおよび相互連携性を提供可能。

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日本インテグリス株式会社

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