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露光用LED光源ユニット

シーシーエス(株)

省電力・長寿命で、水銀ランプ光源の代替に好適

本システムは、従来の水銀ランプ光源に代わるLED光源ユニット。波長の異なるLEDで構成することにより単一波長のため効率が悪いというLED光源の問題を解決。コリメート:1.5度以下、デグリネーション:1.5度以下で、露光面照度:30mW/cm2(5kW水銀ランプ相当)を実現した。LEDは水銀レスだけでなく水銀ランプと比べ省電力・長寿命であり、環境負荷を低減する。さらに、光源から熱線が出ないためワーク温度・環境温度の上昇を抑制し、水銀ランプ特有の初期・末期の分光変化に起因する工程管理の複雑さも解消。

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シーシーエス(株)

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