広い面積を高速で露光

【PALET】は、CADで作成した任意のデータをレジストに露光可能で、デバイスの試作、マスクの作成に使用できるDMD式露光装置。10×対物レンズを使用して、1×0.6mmのサイズの露光が行える。オプションの電動ステージを使用し、つなぎ合わせて露光することでさらに広い範囲の露光を実現。最小線幅5μmで露光が可能。BitmapやPNGなどの画像データに加えて、DXFの読み込め、オプションによりGDS IIなどのより豊富なデータフォーマットに対応。光源に375nmLEDを使用し、低ランニングコストを実現。自社制作のソフトウェアにより簡単な操作と細かい設定を両立。

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DMD式露光装置 PALET

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ネオアーク(株)

「レーザ技術への限りなき挑戦!!」をモットーとし、レーザ技術を通して科学技術の発展と、それらがもたらす豊かな社会作りに貢献する企業を目指し、レーザ、レーザ応用機器、磁気評価装置、抵抗等の製造及び販売を中心に、国内外へ事業を展開してまいりました。
“20世紀最大の発明”の一つと言われているレーザを、より安全に、そして更なる「ものづくり」を行い、お客様からの信頼に応えるべく、お客様と共に、お客様が必要とする製品を国内外の市場に提供し続けたいと思います。

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