【カタログプレビュー】レーザ直接描画装置 DDB-201/205

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【DDB-201/205】は、シリコン基板上に塗布されたレジスト材を、レーザ光線で直接描画する露光装置。高精度電動XYステージ、半導体レーザ(波長480nm)、オートフォーカス機能を堅牢な筐体に組込んだ、長寿命でコンパクトタイプで、手軽に自由なパターンを描くことができる。

発行元:ネオアーク(株)

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