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【新登場】ワイヤレスデータロガーHD35シリーズ / WEBデータロガーHD50シリーズ

ウェーハ搬送システム EFEM(Equipment Front End Module)

平田機工株式会社

高クリーン、高スループットで自社製コンポーネントの採用

本システムは、クリーン度実績のある自社製コンポーネントを使用し、FFUの最適な気流制御により高クリーン性能を実現したウェーハ搬送システム。ロボット、FOUPオープナ、アライナはすべて自社製品を搭載、各装置の要求に応じて、フレキシブルなレイアウトが可能であり、搬送システムをトータルサポート。また、業界トップクラスの高スループットを誇る搬送ロボットと独自の制御方式を採用する ことで、640枚/h搬送を実現し、1515st以上のロングストロークにも対応可能。

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