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大気対応ウェーハ搬送ロボット AR-Wn180CL-5-TR-940

平田機工株式会社

高クリーン、バッテリーレスで多段チャンバに有効

【AR-Wn180CL-5-TR-940】は、テレスコ式昇降軸により、Zストローク長を940mmまで拡大、多段チャンバ型の製造装置に対応し、クリーンルームの使用効率を向上したウェーハ搬送ロボット。処理速度を8倍アップ(同社従来機比)した高速ロボットコントローラを搭載、ABSエンコーダ採用によりバッテリー交換が不要。また、磁性流体シールなどにより、パーティクルの発生を抑制するといった高クリーン性能を保持。

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