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基板加熱ヒーター Inconelプレート Max850℃

テルモセラ・ジャパン株式会社

使用温度は最大850℃(Incプレート)

本製品は、トッププレートにインコネルプレートを採用した成膜装置搭載・成膜実験用真空ホットプレート。内部に埋込まれた独自の抵抗線発熱フィラメントへ電力を供給することにより、基板ヒータープレート表面を均一に高温まで加熱昇温する仕組みで、専用温度コントローラなども別途用意。主な仕様は以下。
(1)使用発熱体:NiCr
(2)最高使用温度:850℃(Inc)
(3)対応基板サイズ:1/2/3/4inch
(4)使用雰囲気(SH-INモデル):真空中(1×10−7Torr)、活性ガス(O2、SiH4、CH4など)

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会社情報

テルモセラ・ジャパン株式会社

テルモセラ・ジャパン株式会社
〒1030022
東京都 中央区日本橋室町1-6-3山本ビル別館8F
電話: 0362143033
http://www.thermocera.com/