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【新登場】ワイヤレスデータロガーHD35シリーズ / WEBデータロガーHD50シリーズ
i.MX 8X ベースIoTエッジコンピューティング開発キット

【カタログプレビュー】nanoPVD卓上型スパッタリング装置

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高機能 コストパフォーマンスに優れた研究開発用卓上型スパッタ装置
高性能・多機能にも関わらず、実験室の限られたスペースにもフィットする卓上型・スモールフットプリント7inch前面タッチパネルによる簡単操作。

【主な特徴】
◉ 対応基板:2inch〜4inch
◉ 2inchマグネトロンカソードx3
◉ タッチパネル簡単操作 PLC自動プロセスコントロール
◉ マスフローコントローラ搭載高精度プロセス制御
◉ USB端子付、PCデータロギング機能標準搭載(最大1000layer, 50filmのレシピ保存)
◉ 他、多彩なオプションを用意

発行元:テルモセラ・ジャパン株式会社

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