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AC/MF電源 TruPlasma MFシリーズ

ヒュティンガ・ジャパン(株)

反応性スパッタに最適

【TruPlasma MFシリーズ】は、反応性スパッタに最適なデュアルマグネトロンシステム用AC/MF電源。2マグネトロン配置、ターゲット表面の自動的クリーニング、アーク発生の可能性の減少を基本原理とし、電圧/電流モニタによるダイナミック検出が可能。アークエネルギーを小さく抑えるMF7000シリーズと、コンパクトなMF3000シリーズの2種を用意。

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