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真空プラズマ装置 A4サイズ用 YHS-A4

(株)魁半導体

大容量、ワンタッチで操作可能

【YHS-A4】は、φ400のチャンバーにより、大きなサンプルの処理が行える表面改質用真空プラズマ装置。ステージサイズは要望に合わせて製作可能。表面処理・洗浄、接着前処理、密着強化、塗装前の処理、各種洗浄が行え、そのほかバイオ・医療分野でも使用可能。AC100Vのコンセントで動作し、メンテナンスが容易。
オプションでガス導入、圧力調整、powerコントロール、さらなる大面積化に対応可能。主な用途・事例は以下のとおり。

(1)エレクトロニクス
半導体:前工程、後工程
基板:サブストレート、リードフレーム、めっき
電子部品:LED、MEMS、光学、センサー
ディスプレイ:有機EL、電子ペーパー、フィルムディスプレイ
太陽電池、燃料電池

(2)材料:金属、樹脂、フィルム、繊維、粉
(3)自動車・航空機:カーエレクトロ二クス、パワーデバイス
(4)医療機器:洗浄、バイオ、細胞培養、親水化、接着強化

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会社情報

(株)魁半導体

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(株)魁半導体
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京都府 京都市下京区西七条御前田町50
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