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【カタログプレビュー】SIMS(二次イオン質量分析法)

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【SIMS】は、イオンを入射した試料表面より放出される電子・中性粒子など様々な粒子からイオンを検出し、各質量における検出量を測定することで試料中の成分の定性・定量を行う分析法。主成分元素から極微量不純物までの広い検出濃度範囲で高感度(ppb〜ppm)を実現、深さ方向分析や同位体分析、H〜Uまで全元素の分析が可能なため、構成元素の評価や汚染・不純物・ドーパントの評価、深さ方向への元素分布評価、元素の二次元分布 ・三次元分布評価などに好適。その他の特長は、
(1)標準試料を用いて定量分析が可能
(2)数〜数十nmの深さ方向分析能での評価が可能
(3)数μm角までの微小領域の測定が可能
(4)破壊分析

発行元:MST(財)材料科学技術振興財団

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