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超小型高感度3軸触覚センサ ショッカクチップ

タッチエンス(株)

小型化・高感度化を実現

【ショッカクチップ】は、MEMS技術を活用した微細加工により製造された高感度で小型の3軸触覚センサ。極小のシリコンチップ上に微細なピエゾ抵抗を3軸方向に配置することで、3軸方向の力の高感度検知を実現。従来品の標準品「TSSI」タイプ比で約50%小型化に成功。同時に高感度化を実現し、0-2Nの低荷重領域での圧力・せん断力の同時計測を可能にしている。また、ストッパー機構の内蔵により、耐荷重も強化した。

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