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MEMSフローセンサ

オムロン(株)

【MEMSフローセンサシリーズ】は、独自のMEMS技術を用い、高精度な気体流量を検出可能な小型製品。1L/minの微小流量から50L/minの高流量まで、幅広いレンジで検出できる。フィルタの目詰まりなど、微小な風量変化を高感度に検知する風量センサも用意している。

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