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i.MX 8X ベースIoTエッジコンピューティング開発キット
【新登場】ワイヤレスデータロガーHD35シリーズ / WEBデータロガーHD50シリーズ

【カタログプレビュー】4 x 6インチガンマルチインラインスパッタ Sputter Pilot‐150C

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Preview

【Sputter Pilot‐150C】は、研究用での多層薄膜のスパッタリングのためのRF、DCマルチスパッタに適している。蒸着膜の厚さ均一度およびRMSは6インチウェハーに対してそれぞれ<±2.8%、25Å(厚さ:228.6nm規準)に調節。サンプルのローディングはロードロッカーを通してできる。装置はPCで制御できる。光学、絶縁膜、金属合金の蒸着への応用に最適である。

発行元:A-Tech System

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