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【新登場】ワイヤレスデータロガーHD35シリーズ / WEBデータロガーHD50シリーズ
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【カタログプレビュー】4 x 3インチガンUHVマルチスパッタ UHV Sputter‐50F

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【UHV Sputter‐50F】は、UHVスパッタとして研究用に適当である(基底圧力:<6×10−9Torr)。高真空パンプとしてイオンパンプとターボパンプが採択されている。金属酸化物と金属はロードロッカーチャンバーにプレー蒸着もできるように設計されている。マスクローディングは自動的にできる。磁性材料と金属酸化物、金属の薄膜を蒸着する場合に最適である。

発行元:A-Tech System

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