製造装置用フィルタユニット
最終更新日:2022/08/17
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半導体製造装置などの局所クリーン化に対応
本製品は、クリーンルームや製造装置などの局所空間のクリーン化に最適なファンフィルタユニット。半導体製造装置、搬送装置、保管庫、クリーンブースなどの用途に適している。
製品カタログ・資料
- クリーンルーム関連機器
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