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単一周波数固体レーザー EXCITEシリーズ

(株)日本レーザー

最終更新日:2023/06/30

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  • 単一周波数固体レーザー EXCITEシリーズ
UV領域のアプリケーションに対応、米国CDRH規制に準拠
【EXCITEシリーズ】は、ウエハ検査、分光器の校正、干渉計のアプリケーションに使用できる単一周波数固体レーザー。1～30kHzの繰り返し周波数で、M2＜1.6の回折限界ビームに短時間パルスを発振。理論的なフーリエ限界に近い値である50MHz以下のスペクトル帯域幅を実現。平均出力は266nmで150mW以上、355nmで500mW。安定したパルストレースと3m以上の長いコヒーレンス長を提供。堅牢な産業用途向けデザインで、要望に合わせてカスタム対応も可能。米国CDRH規制に準拠。
    　　　　　　　　

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