DOVERMOTION社 SmartStage-XY-Datasheet

一般的なリニアステージには、外部コントローラやモーター駆動回路、フィードバック回路、リミットスイッチ、および軸ごとに複数のケーブルが必要です。
Dover Motio社製 SmartStageポジショナーには、高性能コントローラとすべてのハードウェアが組み込まれています。
・分解能:5nm
・繰返し位置精度:0.8um
・プロトタイピングが容易
・費用対効果:高