SmartStage™ XYモノリシックステージ
SmartStage XY モノリシック位置決めステージは、精密位置決め用に設計された、物理的に統合されたコントローラを備えた薄型 XY フォーム ファクタのリニア モーター ステージです。優れたパフォーマンスを実現するために、剛性の高いクロス ローラー ベアリングを使用して設計されています。

独立したスタックシステムよりも堅牢な構造、高帯域幅/高パフォーマンス
よりコンパクト
ステージ構造内に物理的に埋め込まれたコントローラ
電源と通信を一体化した単一のケーブル
機械加工された直交性