【NASclean】は、同社が独自開発したステンレス鋼短繊維からなるプリーツタイプの高速ベントフィルタ。ロードロック室の常圧復帰プロセスにおいて、導入ガス流速を低減し、室内のパーティクル巻上げ防止、かつ開始時から流量が得られるため、常圧復帰時間を短縮できる。