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シリコーンフリーロードセル UWR

ユニパルス株式会社

最終更新日:2023/07/20

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  • シリコーンフリーロードセル UWR
シロキサンの発生がなく、半導体製造装置への組み込みに最適
【UWR】は、シリコーンを含まないビーム型のロードセル。半導体製造現場ではシリコーン樹脂から発生するシロキサンを発生しない機器が必須となっている。シリコンウェハ周辺での用途に考慮し、塩素ガスの発生しないテフロンシースケーブルを使用している。

製品カタログ・資料

UWR シリコーンフリー ロードセル
UWR シリコーンフリー ロードセル

ファイル形式:pdf ファイルサイズ:1.64MBシリコーンを含まないビーム型のロードセル。 シリコンウェハ周辺での用途に考慮し塩素ガスの発生しないテフロンシースケーブルを使用。

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企業基本情報

社名:
ユニパルス株式会社
住所:
〒 103-0005
中央区日本橋久松町9-11
Web:
http://www.unipulse.co.jp/