微粒子測定器/パーティクルカウンタ13社のメーカー企業と製品ランキング-製品ナビ
微粒子測定器/パーティクルカウンタ
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パーティクルカウンタは、空気中や液体中にある埃や不純物などの微粒子を計数する計測器である。微粒子計測器の流路を通過する微粒子にレーザー光が当たると散乱光を発し、その微粒子からの光の散乱の強さを測り、大きいものから順に数え上げることで、微粒子の数を計測することができる。粉塵の濃度(mg/㎥)を計測する粉塵計とはことなり、空気中に浮遊するダストなどの微粒子数(個/㎥)を計測するものである。
パーティクルカウンターは、半導体製造で必要とされるクリーンルームでの空気清浄度を測定などのために使用される。パーティクルカウンターは、JIS B 9921 に定められた性能基準を満たす必要がある。
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