【カタログプレビュー】レーザーオートフォーカス「PureFocus850」 STマイクロエレクトロニクス社への導入事例
「PureFocus850」は、さまざまな画像取得に柔軟に対応できるレーザーオートフォーカスシステムである。2020年には、生物研究や工業製品のスキャニング分野において、生産性の向上に役立ツールとして多くのユーザーに使用され、ウェーハ検査において高い効果を発揮。特に選択エッチングの分野で非常に有益であることが認められている。電子機器や半導体製造の国際的大手企業であるSTマイクロエレクトロニクス社は「PureFocus850」を使用することにより、従来のオートフォーカスシステムが抱えていた課題を克服し、サンプル毎の観察時間を削減することができた。また「PureFocus850」を自動画像認識ソフトウェアと組み合わせて、スェーデンにある工場内で、SiCウェーハの分析のために使用している。










