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真空紫外光源ユニット D200シリーズ

エクセリタスノーブルライトジャパン株式会社

最終更新日:2014/01/31

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  • 真空紫外光源ユニット D200シリーズ
研究機関および製造工程向け
【D200シリーズ】は、研究機関および製造工程向けの高出力・真空紫外光源ユニット。直行照射の紫外線光源で、160〜400nmのレンジで連続光が得られ、125〜160nmのレンジで強い放射光速が得られる。D200F:200〜400nm 空気中、160〜400nm 不活性ガス下、D200F-HV:160〜400nm 真空下、D200VUV:115〜400nm 真空下を用意。
    　　　　　　　　

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