表面改質用紫外線モジュール

本製品は、モジュール化に際し工業用特殊光源メーカーとして培った技術を投入し、加えて新たに開発した真空紫外線(VUV)ランプ4本を搭載した表面改質専用モジュール。表面改質・洗浄に特化して新開発したロングライフ・アマルガム・フラットランプ(高純度合成石英ガラス仕様・4.0W／cm出力)を採用。また独自開発の反射コーティングリフレクター「QRC nano」をランプと一体構造とし、紫外線波長185nmの反射効率向上とモジュールケースの簡素化を実現。よって課題であったプロセスの効率化に対し、ランプの高出力化、および高エネルギー効率化による短時間での紫外線表面処理が可能となった。さらにコストダウンにも貢献し、適応分野および用途の拡大が期待される。