高真空度クラス対応形 接触式位置決めセンサ GN-PT5M3B
最終更新日:2014/08/16
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10-5Pa高真空度クラス対応
【GN-PT5M3B】は、低アウトガス対応部品だけで製造した、高真空環境専用の位置決めセンサ。真空蒸着装置やスパッタリング装置内の、ウェハーやマスクの位置決め用途で、大手半導体製造装置メーカーへの採用実績を保持。
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