16 x 16素子MEMS非接触温度センサ

本製品は、ウエハレベル真空封止技術を活用した人感センサ向け16×16素子MEMS非接触温度センサ。サーモパイル部をチップ内で真空封止したことで金属接点間の温度差が大きくなり、より高い感度を実現。このサーモパイル方式を用いることで静止した人物の検出が行え、かつ90°の広い視野範囲と高精度なエリア温度検知が可能。たとえば、45°の視野角のセンサが4個必要だったエリアを1個のセンサで検出することができる。フレームレートは4fpsと高速であり、1.0m／sで移動する人物の検出が可能。対象物温度検出範囲：5〜50℃、温度分解能（NETD）：0.15℃、外形寸法：W20×L37×H10.7mm、電源電圧：DC2.7〜5.5V。通信形態はSPIを採用。