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常圧復帰用高速ベントフィルタ NASclean

日本精線(株)

最終更新日:2016/08/25

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  • 常圧復帰用高速ベントフィルタ NASclean
ベントタイムの短縮化およびウエハの歩留まり向上に寄与
【NASclean】は、同社が独自開発したステンレス鋼短繊維からなるプリーツタイプの高速ベントフィルタ。ロードロック室の常圧復帰プロセスにおいて、導入ガス流速を低減し、室内のパーティクル巻上げ防止、かつ開始時から流量が得られるため、常圧復帰時間を短縮できる。また、スローベントシーケンスが不要となり、コストダウンが図れる。ステンレス鋼(316L)による優れた耐久性と、460℃まで対応可能な耐熱性を兼備。ろ過精度0.0025μmを保有しているため、配管からのパーティクルの流入防止も可能。
    　　　　　　　　
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常圧復帰用高速ベントフィルタ NASclean
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ファイル形式：pdf ファイルサイズ：0.28MB【NASclean】は、同社が独自開発したステンレス鋼短繊維からなるプリーツタイプの高速ベントフィルタ。ロードロック室の常圧復帰プロセスにおいて、導入ガス流速を低減し、室内のパーティクル巻上げ防止、かつ開始時から流量が得られるため、常圧復帰時間を短縮できる。

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社名：
日本精線(株)
住所：
〒 104-0031
中央区京橋1-1-5　セントラルビル9F
Web：
http://www.n-seisen.co.jp/