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- 常圧復帰用高速ベントフィルタ NASclean
ファイル形式：pdf ファイルサイズ：0.28MB【NASclean】は、同社が独自開発したステンレス鋼短繊維からなるプリーツタイプの高速ベントフィルタ。ロードロック室の常圧復帰プロセスにおいて、導入ガス流速を低減し、室内のパーティクル巻上げ防止、かつ開始時から流量が得られるため、常圧復帰時間を短縮できる。
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