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カタログを選択 分子膜成膜装置 MVDシリーズ ファイル形式:pdfファイルサイズ:0.5 MB 【MVDシリーズ】は、分子気体を材料として、種々の素地上に各種機能膜を形成する装置。一様な厚さの膜を、被成膜部が複雑な形状であっても全体にわたり均一に成膜することができる。視認できない隠れた部分(基板裏側など)にも成膜することが可能。