【KA-02】は、小型・軽量のため、プロセス装置内の発塵モニタに適する気中パーティクルカウンタ。筺体にステンレスを採用し、耐薬品性が。向上光学系方式：側方散乱方式、光源：半導体レーザ(波長780nm、定格出力35mW)。