超高純度用、ダイレクトダイヤフラムバルブです。

【型式】グローブタイプ・アングルタイプ

【構造】ダイヤフラムバルブ

【特長】
1.ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。
2.従来のMEGA-ONE LMの性能はそのままに、コンパクト化を図りました。
3.スイッチタイプは90度開閉ダイヤフラムバルブで、スプリングの力により安定したシール性能が維持できます。