本資料は、ターボ分子ポンプにおける租排気にダイアフラム技術について解説。ターボ分子ポンプシステムは、始動および効果的な動作には深い真空が必要となり、この真空を得るためにダイアフラムポンプ技術を用いた租排気(Roughingpump)に頼ることが多くある。ターボ分子ポンプシステムは、質量分析、漏れ検出、半導体製造など、さまざまな用途で広く使用されている。これらの複雑なシステムは効果的に動作させるには極めて深い真空状態が必要であり、そのレベルに達するにはダイアフラムポンプに頼らざるを得ず、ダイアフラムポンプ技術はこれらの用途において他のポンプタイプよりもいくつかの利点がある。