ユーザーカスタマイズ可能ウエハリング(バラ部品トレイ)供給対応 高速ハンドラー装置
BITA-2KWD移載機
★ 最大25,000UPHの高速移載!
★ 高精度±0.02mmの収納!
★ ソフトハンドリング
ダメージレス収納　極薄部品、微細部品に優しい吸着・収納
★ 剣山ユニットによるウエハチップの高速移載
★ 部品ダメージレス(単純なシート剥離の為、部品にダメージを与えない)
ウエハリング供給の部品をダメージレスで吸着・移載する、高速の ハンドラー装置!
シリコンチップなど、ダイシングシート貼付状態で供給される部品を
KNE製ロータリーヘッドによる高速ピックアップを可能にするシステムです。
1 .ウエハリング供給部品を吸着可能な状態にする「剣山」ユニット
UV 硬化と加温によりシート粘着力を低下させたうえで剣山形状の針の先端で部品を支持しながら
シートをエクスパンド、さらに下方へ真空吸引することでシート粘着力を極小化します。
「剣山」ユニットのプロセスは、一般的な突き上げ方式と異なり、部品に力学的ストレスを与えることなく ソフトな吸着可能な状態を実現しています。
・ 剣山対象部品寸法 1 x 1 mm 15 x 15 mm
・ 対象ウエハリング 4, 6, 8, 12 インチフラットリング
(※ 2021 年 9 月現在、 12 インチ対応は開発中)
・ 温度設定範囲 40 ℃ 100
2 .繊細な部品に優しい、ダメージレス吸着・収納
吸着時と収納時に部品に与えるダメージをなくすため、微細な「すきま」を維持した
高さへノズルを位置決めする高精度な高さ( Z 軸)制御を行います。
また、高度な真空圧制御を行い、吸着・収納品質を安定させています。
リアルタイム真空破壊制御
3.16ノズルヘッドによる高速移載: 最大25,000UPH
移載ヘッドには高速自転・公転する16本のノズルを備え、1往復のX軸動作で16個の部品を一気に移載します。特に、移載機BITA-2では、部品姿勢認識にラインカメラを採用し、吸着部から収納部へ停止することなく移動することにより、最高タクト25,000UPHを実現しました。
※2 最高タクトには吸着・装着時の移動量など一定の条件があります。
UPHは1時間あたりの収納数を表す単位です。
4.微細部品の高密度収納を可能にする高精度: ±0.02mm(実力値※)
XY軸の高精度制振制御、高精度部品姿勢認識、自動キャリブレーションにより、±0.02mm(※)の高精度収納を実現しました。これにより、高密度(狭ピッチ)収納が可能になります。(※ 保証値は±0.05mm)
5.更なる自動化、高品質化のための、様々なオプション機能
・部品の寸法に応じて選択可能なノズル& 剣山ラインナップ
・幅広い部品寸法に人手を介さず対応するノズル自動交換
・装着品質を更に向上させる高さ計測ユニット
・収納後の部品状態を確認する収納後検査様々なオプション機能を準備しています。
6 .生産をサポートする様々な機能
・直感的でわかりやすい操作系、テータ編集
・作業ミスをなくす、階層別操作モード
・各動作を単独で実行させる、マニュアルモード
・装置間の差をなくす自動キャリブレーション、等