【SF-640M】は、独自の超精密加工技術による高精度エアスライド、リニアモータ、サーボモータ・ボールねじの採用により、世界最高クラスの平面度測定が行える装置。精密平面研削盤で加工した金型などのワークの精度評価システムとして開発。「見えない世界を見える世界へ」をコンセプトとし、接触式測定子または非接触式レーザー(オプション)にてワーク表面をスキャンすることで、ワーク全体を豊富なユーザーインターフェースにて表示可能。