【カタログプレビュー】エアー駆動ベローズポンプ Fシリーズ

F シリーズは半導体製造プロセス専用設計のエアー駆動ベローズポンプです。発売以来20 有余年、イワキは常に市場ニーズにお応えして、新製品開発を積極的に展開してきました。現在では標準品だけでも20 機種以上を数え、その品質と性能は世界のデバイス・ウェハーメーカーより高い評価をいただいています。
また、ポンプのみならずコントローラ・ダンパーなどの周辺機器や薬液補充ポンプシステムも標準化。一段と充実した製品ラインアップでウェット洗浄プロセスをはじめ、薬液供給装置やCMP プロセスなどに幅広く対応します。
また、ポンプのみならずコントローラ・ダンパーなどの周辺機器や薬液補充ポンプシステムも標準化。一段と充実した製品ラインアップでウェット洗浄プロセスをはじめ、薬液供給装置やCMP プロセスなどに幅広く対応します。
発行元:株式会社イワキ