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【カタログプレビュー】電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ CHX

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【精密ステージシリーズ CHX】は、予圧型フレキシブル平面軸受の採用と同一平面上に駆動モジュールを3箇所配置した超薄型アライメントステージ。

【製品の特長】

●超薄型
予圧型フレキシブル平面軸受の採用と同一平面上に駆動モジュールを3箇所配置したことにより、超薄型アライメントステージを実現しました。

●トップテーブルの小型化
トップテーブルのサイズは縦横ともに、100〜200mmです。従来のアライメントステージCMXよりも小型なトップテーブルが選択可能です。

●中抜き構造の設定可能
トップテーブル・ベース中央部に、貴社のご要望に応じて中抜き構造の選択が可能です(特殊対応)。下面からの透過光測定、機械・装置の配線処理の簡略化、トップテーブルインロー穴として活用できます。

●結線作業の簡略化
モータ、センサの接続用コネクタが一方向に集約しているため、結線作業を簡単に行うことができます。
発行元：ＴＨＫ株式会社
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