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【カタログプレビュー】電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ CMX

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ベース・トップテーブル間の四隅に、クロスＬＭガイドCSRとクロスローラーリングRUを組合わせたモジュールを平面配置する独特の構造を採用し、超薄形構造を実現しました。

【製品の特長】

●大型ワークに対応
トップテーブルサイズ1500mm×1500mmまでの大型ステージを標準化。モジュールを必要数配置することで、更なる大型化への対応も可能です。

●超薄形・軽量
XYθモジュールを採用したため、サドルのない薄くて軽い機構を実現しました。

●中抜き構造
トップテーブル、ベース中央部に大きな空間が得られ、光学式検査装置や導通テスタとしての使用が可能です。

●高剛性・高精度
モジュールを構成しているクロスLMガイドとクロスローラーリングには予圧を与えてあり、高精度で剛性の高い構造です。
発行元：ＴＨＫ株式会社
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