【ESDシリーズ】は、ESD(静電気放電)性能に特化した静電気放電対策の独自開発素材(ゴム)「Elec-Con」を使用した真空パッド。シロキサン不使用、オゾン耐性があり、イオナザとの併用が可能。コーティングとは異なり、材料自体がESD対応で摩耗時の表面抵抗値の変動が少なく安定している。また、規格よりも厳しい基準で測定を実施、表面抵抗値を全数検査1.0×10⁶～9.9×10⁹Ωで管理・出荷(検査成績書付属)。平形、薄形、2段／3段じゃばらタイプをφ30mmまで用意。