本製品は、真空チャンバー内に組み込めるアニール用ランプヒーターユニット。ハロゲンランプヒーターを使用しており電力に対する熱損失が少なく、高効率。立ち上がり・立ち下がりの応答性能も非常に高いため、瞬時加熱が可能。