【掲載製品】
オープンタイプリニアエンコーダ

発行日:2021.6
208960-JF

■特長
・高精度と高い繰り返し性
・省スペースタイプの走査ヘッドとスケール
・PRECIMET接着テープにより取付けが簡単
・リミットスイッチとホーミング機能
・ステータスLED搭載

■仕様
・信号周期: 4μm
・精度等級: ±1μm、±3μm
・推奨分解能: ～2nm
・測定長: 最長1640mm
・インターフェース: 1Vpp、TTL

■用途
半導体後工程用製造装置、各種計測装置