【SP3D】は、金属やセラミック、高機能フィルムの段差計測やシート素材の表面欠陥を高さ情報でNG判定する表面形状検査装置。シートエッジを含むシート素材表面欠陥の全数検査に対応。特殊レーザー光源でサブミクロンの厚み・段差測定が行え、さらに、光切断方式三次元ラインカメラの採用により、表面高さ計測と同時に通常のカメラ同様に輝度画像も取得できる。計測対象範囲：15mm幅(固定)×最大200mm(可変)、水平分解能：10μm(1画素解像度）、高さ計測範囲：基準面から0.8mm以内、高さ分解能：0.1μm(局所平均値)、段差計測精度：0.4μm(繰り返し保証値)。検査結果はPC画面表示、汎用I／O出力またはLAN通信による出力が可能。