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【カタログプレビュー】微分干渉ユニット・瞳分割偏光ユニット

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微細な段差やキズの観察に適した「微分干渉ユニット」と、
緩やかなうねり、傾き、反りの観察に適した「瞳分割偏光ユニット」は、
半導体ウエハーや半導体製造に用いるガラス基板などのさまざまな検査で使用できます。

微分干渉ユニット用途例:光沢表面の微細なキズ・刻印検査、ウエハーのキズ・クラックや結晶欠陥などの検出
瞳分割偏光ユニット用途例:光沢表面の微細なうねりや傾きの検査、ウエハーの研磨痕、加工時の反りや切削咳などの検出

◆詳細はカタログをダウンロードしご覧いただくか、シーシーエスWebサイトよりお気軽にお問い合わせ下さい。
https://www.ccs-inc.co.jp/
発行元：シーシーエス(株)
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企業基本情報

社名：
シーシーエス(株)
住所：
〒 602-8011
京都府 京都市上京区室町通出水上ル近衛町38
Web：
https://www.ccs-inc.co.jp

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